二手 ULTRATECH AP200 #9307527 待售
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ULTRATECH AP200是為高級光刻工藝設計的最先進的晶圓步進器。它提供了簡單的設置和低維護,以及高分辨率的光學性能,使其成為滿足復雜制造要求的理想選擇。ULTRATECH AP 200利用電動機驅動的衍射光柵設備,通過雙孔徑系統產生兩級光配電。該技術提供高分辨率成像功能,減少成像時間,同時消除光學像差。此外,還AP200內置對齊和臺階控制功能,以確保在曝光期間準確定位和對齊標線。AP 200的力學包括特定於產品的可調晶片級、電動機驅動的標線掃描儀、電動機驅動的晶片索引單元以及用於晶片處理的負載鎖定機構。掃描儀的角度、速度和步數可以根據不同的光刻需要進行調整。此外,吊臂提升手推車允許技術人員將步進器從一個區域移動到另一個區域。ULTRATECH AP200還提供了幾種環保機制,如溫度控制、電源保護、減振和其他潔凈室操作防護系統。塵埃顆粒和其他汙染物可以通過基於真空的塵埃過濾機從光路中消除。此工具可防止劃痕、汙跡和其他可能影響光刻結果的可見汙染物。ULTRATECH AP 200的功能豐富的設計提供了比傳統光刻解決方案強大的優勢。通過提高成像速度、消除像差和采用各種保護系統,可以以無與倫比的精度和效率執行高級應用程序。此步進器是任何尋求先進光刻解決方案的人的質量選擇。
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