二手 ULTRATECH CGS-300 #9397353 待售
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ULTRATECH CGS-300 Wafer Stepper是一種設計用於半導體晶圓加工的高端光刻成像工具。用於在很小的元件上制作圖樣,在矽片上制作芯片。它使用步進重復的方法在非常微小的尺度上創建錯綜復雜的設計。CGS-300 Wafer Stepper是一種全場步進重復光刻設備,包括: 步進電機,它旋轉基板以精確對齊要直接暴露的陣列 圖樣投影機頭,具有超高分辨率成像光學元件,可將圖樣投射到晶圓基板上 集成級/基板支架,用於在成像光學系統下移動基板 一種集成的加熱器和循環器,以保持溫度穩定 具有專用電源的液晶標線單元,可提供高速、精確的圖案定位 ULTRATECH CGS-300 Wafer Stepper的圖樣投影機頭采用高功率UV激光二極管,將精確的圖樣投射到晶片基板上。圖案大小和位置可以很容易地調整,因為定位精度精確到0.5微米以內。該機器的最大分辨率為0.25微米,可以從直徑低至6英寸的大基板上繪制圖樣。CGS-300晶圓步進器適用於廣泛的微電子制造應用,包括先進的半導體器件制造、電子電路板和MEMS制造。它提供高吞吐量和可靠的性能,使其能夠降低與半導體處理相關的成本。ULTRATECH CGS-300 Wafer Stepper可以很容易地整合到現有的半導體生產線中,並且可以與一系列常用的材料和試劑一起使用。它設計為免費維護,並提供可靠、準確的性能。總體而言,CGS-300 Wafer Stepper是一種先進的晶圓處理工具,可為各種微電子制造應用提供高度精確的光刻成像。它具有一系列特性和功能,以確保可靠和高效的操作。該工具的高精度控制和可重復性使其成為半導體生產線可靠且經濟實惠的選擇。
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