二手 ULTRATECH LC 37 #9036437 待售

ULTRATECH LC 37是一種多功能且經濟實惠的晶圓步進器,具有強大的光刻精度和卓越的設備可靠性。該系統專為滿足大批量生產環境的需求而設計,可提供高分辨率成像、6英寸晶片上的精確陣列,以及每次曝光時可靠且可重復的性能。先進的軟件通過其圖形用戶界面提供易於使用的設計、對齊、測量和曝光功能。用戶界面引導操作員完成整個過程，具有直觀的特征和設置，從而可以在更短的時間內創建準確的模式，並減少錯誤。它還提供高級功能,例如作業調度、未對齊調整以及一系列光學設置,如「自動亮場」和「自動音調控制」。該裝置配備了先進的晶片處理機，允許曝光直徑達12英寸的晶片。該專利工具采用獨特的空氣軸承輸送機操作，從而在X軸和Y軸上實現非常精確和可重復的運動。它還提供了兩級定位資產,能夠將6英寸晶圓從盒式磁帶精確、重復地傳送到曝光區域,定位精度為3 μ m。此外,該型號還采用高功率光源供電,以實現出色的曝光均勻性。它的脈沖紫外線激光提供了整個晶片的均勻曝光。這確保了通過消除非統一性來實現最大的分辨率。紫外線激光器的威力和墻壁的黑暗使其成為大容量曝光的完美選擇。此晶片步進器還具有半開放體系結構和模塊化設備,可隨著最新技術的出現提供靈活性的升級。它能夠與外部工具集成,以滿足高級平版印刷要求以及全面的編程和通信選項。此外，它還配備了一整套基本的光刻工藝工具，如自動對準、焦點確定以及電子柱計量。總體而言,LC 37是高容量應用程序的出色解決方案,提供卓越的性能和可靠性。該系統的特性和功能提供了卓越的性能、準確性和成本效益,使企業能夠最大限度地減少停機時間,並最大限度地提高吞吐量和生產產量。