二手 ULTRATECH LSA 100 #9298839 待售

ULTRATECH LSA 100是一種先進的晶圓步進器，旨在提供各種基材和晶圓尺寸的精確對準。ULTRATECH LSA100是一種高精度的定位設備，具有卓越的線性滑動組件和用於精確角度定位的旋轉編碼器。它是一個完全自動化的工具，能夠執行光刻和暴露於多個基板或晶片。該系統具有高吞吐量、優良的定位精度以及獨特的圖像和過程控制。該裝置利用獲得專利的磁力升降機在各種工藝操作過程中實現受控、均勻的運動。該工具還具有獨特的、高分辨率的、堅固的基於激光幹涉儀的對準資產，可確保模型和晶圓基板之間精確一致的對準。設備支持多種晶圓尺寸，包括4「和6」圓形基板。此外，該系統與各種光學成像系統配合使用，使其非常適合在各種波長和分辨率下曝光。LSA 100還提供了一個復雜的過程控制單元，允許用戶精確控制暴露過程。這臺機器支持在同一基板上進行多次曝光，以允許曝光時間或能量強度的變化。此外,該工具還附帶一個高級3D測量資產,允許用戶根據需要調整和優化曝光參數。LSA100利用先進的自動化技術來確保精確、可重復和準確的處理。它的可編程運動控制模型允許用戶利用基於圖像的高級過程控制。該設備還具有先進的報告功能，使用戶能夠在生產過程中監測各種工藝參數。總體而言,ULTRATECH LSA 100是一款先進的晶圓步進器,旨在為用戶提供各種基材和晶圓尺寸的卓越精度和精確度。其磁力提升系統、基於激光幹涉儀的對準單元、過程控制機以及先進的自動化技術，使其成為光刻和曝光應用的絕佳選擇。該工具旨在提供最佳的圖像質量、過程可靠性和卓越的吞吐量。