二手 ULTRATECH LSA 100A #9392624 待售

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ID: 9392624
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
RTP System, 12" 2006 vintage.
ULTRATECH LSA 100A是一種全自動、高性能的晶圓步進器,用於平版印刷、電路打印和陣列設計應用。該設備具有先進、高效的LED光源和機動化級,可實現快速、精確的晶圓定位。LSA 100A能夠掃描有陣列或無陣列的晶片以創建電路模式。它利用步進和重復掃描技術來創建標準化的微觀結構。該系統具有可編程、可變狹縫和無窮大管的組合,以最大的光刻控制調制光柵照明。UV250光源可調節,輸出功率高達80瓦。這使得用戶可以選擇幾種光束形狀,提高焦點深度,實現更大的視野。ULTRATECH LSA 100A提供0.75 µm的水平分辨率,最大磁場尺寸為4英寸x 4英寸。該單元配備了可變狹縫機,可以調整狹縫位置,以實現更精確的照明,使精度達到0.15 µm。無窮大管技術設計為在整個視野中提供均勻、可重復、一致的照明。它還提供了一個顯著的動態範圍的曝光在低能量設置更精細的模式。LSA 100A設有可移動級,可調整晶圓位置和控制循環時間。為確保用戶安全,ULTRATECH LSA 100A的設計符合符合SEMI和CE標準要求的高標準安全和環境要求。它提供低振動和低聲噪聲水平,以確保工作環境的安全和舒適。該工具非常可靠,包含可靠的硬件和軟件體系結構,利用了可靠且經濟高效的組件。LSA 100A是一種功能強大、用戶友好且經濟高效的晶圓步進器,它提供了一整套功能,可實現精確和精確的平版印刷結果。它包括一個可調的UV250光源,一個可編程的可變狹縫資產和一個無窮大管以最大化光刻控制。機動化階段提供快速、精確的晶片定位,模型符合安全和環境要求的最高標準。ULTRATECH LSA 100A是電路打印和陣列應用的絕佳選擇。
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