二手 ULTRATECH LSA 201 #9281314 待售
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ID: 9281314
晶圓大小: 12"
優質的: 2015
Laser spike annealer, 12"
Process: Dual Beam
CIM: SECS / GEM
Fab section: Diffusion
Hardware confguration (Fab):
Main system: RASCO
Factory Interface: (2) FOUP
Handler system: GENMARK GB
Options system: DC035-UT-A Laser
Remote / Optics rack
Hardware confguration (Sub fab / Auxilliary units):
ATS Heat exchanger
2015 vintage.
ULTRATECH LSA 201是一種小場檢流計掃描儀,非常適合精確掃描和成像應用。它專為晶片步進系統而設計,用於在晶片上精確移動細膩的掩模,以產生高分辨率的圖像。掃描儀有一個小輪廓,允許更大的靈活性,在系統中集成光學和其他組件。LSA 201利用了獲得專利的電光反饋系統,它允許精確和可重復的運動控制。它還利用高精度的光學元件對準來實現對準的重復性和準確性。這樣可以確保晶片步進器以最小的像素失真產生準確的結果,同時降低手動調整的成本和復雜性。該掃描儀采用高分辨率掃描系統,允許掃描速度高達每秒50微米。它能夠以5至15伏的可調電壓向驅動電動機提供高達2毫安的電流。此外,該設備還配備了一個精密的數字接口,用於精確和精確地控制運動。ULTRATECH LSA 201的設計允許高效的步進掩碼更改。它具有快速、精確的掩碼更換機制,允許在15秒內更換掩碼。它還配備了一個功能強大的基於Windows的軟件包,可完全控制掃描儀以及所有功能。LSA 201設計有精確的安全機制,可確保設備在運行過程中保持安全。這包括在超載情況下自動關閉,以及檢測並立即停止任何異常移動的傳感器。此外,掃描儀的保修期為2年,其中包括由於材料或工藝造成的任何缺陷。總之,ULTRATECH LSA 201是高性能成像和掃描應用的理想解決方案。它易於適應,具有高度精確的運動控制功能,並且可以快速更換掩碼以實現高效操作。強大的軟件包提供精確控制所需的所有特性和功能,安全機制確保設備高效、安全地運行。
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