二手 ULTRATECH LSA 201LP #9286627 待售
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ULTRATECH LSA 201LP是為光刻應用而設計的晶圓步進器。它專為邊緣偏置照明而設計，能夠產生低至半微米分辨率的抗拒線條和空間。ULTRATECH LSA201LP利用高性能的線性電動機驅動級進行運動控制。它是唯一可用的具有2軸移動級的掃描儀，允許掃描晶圓上的不同形狀和結構。這有助於達到最高水平的可重復精度。LSA 201LP提供0.75的數值光圈和5.4mm的視場,從而實現各種詳細模式。它配備了高分辨率光學器件，能夠同時提供恒定照明和可變照明以及集成的自動校準功能。LSA201LP還具有四束對準系統（QBAS）,可確保光刻過程中曝光光學器件的精確光學對準。ULTRATECH LSA 201LP還包括光源卡，它為掃描儀的光學組件提供低噪聲電源。這有助於減少電源引起的噪聲引起的強度變化造成的模式缺陷。此外,ULTRATECH LSA201LP還具有一系列自動晶圓處理功能,例如自動對齊、圖像處理和缺陷檢查。這有助於用戶加快開發過程,同時降低開發成本。總體而言，LSA 201LP是一種先進的晶圓步進器，非常適合先進的光刻項目。它結合了高光學分辨率、復雜的自動化功能和強大的光學系統,為先進的光刻應用提供了全面的系統。LSA201LP對於需要最新、最先進的步進技術才能達到最佳效果的人來說是理想的選擇。
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