二手 ULTRATECH Mercury XLS 200 #9228467 待售

ULTRATECH Mercury XLS 200是一款高性能晶圓步進器，設計用於經濟高效地制造先進的微電子器件。它是為精確和可靠而設計的，使其成為光刻操作的理想選擇，以產生具有小特征幾何形狀的密集、復雜的設計。XLS 200增強的成像功能使其非常適合緊湊的幾何形狀和尖端的設計功能。它具有4450mm/秒的快速掃描速度,即使是最密集的陣列也能提供快速、準確的處理時間。高分辨率光學器件具有13 nm線寬功能,提供卓越的均勻性和圖像質量。先進的級處理系統可實現快速的晶片加載和精確的對準,而主動前端可確保晶片應力較低。該系統配有先進的控制系統，包括真空室自動調節、曝光時間測量控制和汙染控制。自動調整和優化功能可確保掃描儀、曝光源和晶片之間的精確交互,從而獲得最佳的工藝性能。XLS 200可提供自動對焦和對焦漂移補償,以隨時間推移保持高精度。為了提高生產效率,XLS 200具有批處理功能,具有多個晶片加載和卸載選項以及基於配方的用戶界面。其檢測精度和可重復性在光刻系統市場上是無與倫比的，設計時考慮到了易於維護。Mercury XLS 200是晶圓步進器的一個工程奇跡，允許經濟高效的制造和復雜的光刻操作，準確性和可靠性。它的特點和能力使其非常適合為半導體行業生產高級設計。