二手 ULTRATECH Mercury XLS 200 #9228468 待售

ULTRATECH MERCURY XLS 200 Wafer Stepper是一種高性能光刻工具，允許廠商為先進的半導體制造工藝創建高精度的芯片圖樣。XLS 200集成了高級功能,使其能夠提供卓越的圖樣打印精度和高通量。該設備建立在ULTRATECH先進成像技術之上，包括其FiestoLVDS多級成像平臺和Beamblanker電子快門。這些技術可實現精確的成像和改善光束曝光穩定性。該系統還具有熱穩定成像光學器件,可實現最佳性能和陣列放置精度。這項先進技術使XLS 200能夠產生高分辨率、低線寬、高覆蓋精度的圖像。XLS 200使用具有獨立控制的獨立柱的雙梁體系結構進行曝光。此模塊化設計可實現更高的吞吐量和更高的性能。此外,平臺還包括一個5軸級,用於在曝光過程中精確對準掩模和晶片。XLS 200還具有靈活且可擴展的體系結構,能夠集成高級流程和選項。這包括可選的光刻功能,如SmartSource、Focal@@-Depth、Multi@@-Level、Multi@@-Patterning、Polarity和Low Dynamics。這允許用戶自定義他們的進程，並以更少的叠代獲得更高的收益率。XLS 200旨在通過簡化單元校準過程來降低開發成本。它包括快速測量激光高度和聚焦系統,可節省時間並減少操作員幹預。此外，該機還包括一塊可拆卸的校準板，用於自動校準。Mercury XLS 200 Wafer Stepper結合了領先技術,是先進半導體制造應用的理想解決方案。它通過簡化校準和提高吞吐量,提供卓越的性能、提高的產量和節省成本。