二手 ULTRATECH Multipol #293607366 待售

ULTRATECH Multipol是一種用於半導體器件制造行業的晶圓步進器。它是一種高度精確、高產的工具，設計用於在半導體芯片上繪制微結構圖樣。它生產尺寸從一微米到32微米不等的設備。Multipol利用由X-Y電動掃描級組成的掃描燈，在晶圓表面上形成微觀結構。掃描燈裝有多種可直徑5-50毫米的物鏡，入射角（AOI）分別為0-90度。ULTRATECH Multipol利用可變大小的級，可以在長達12英寸的晶圓基板上產生模式。它能夠將圖像從4X投影到50X,並且可以靈活地對步驟和重復、掃描或兩者的組合進行陣列設計。其分辨率優於1nm,最大曝光時間為10毫秒。這種步進器的特點是具有高強度、光密的照明，提供了最佳的圖樣性能。Multipol還利用了先進的控制算法，允許精確的步進控制和優化。它還配備了可編程的用戶界面，允許用戶自定義自己的模式能力。用戶界面可以根據每個應用程序的特定要求進行定制，以確保設備能夠最精確地執行其預期功能。此外,ULTRATECH Multipol還包含許多安全功能,以確保晶片和設備在操作過程中不會損壞。這包括一個防反射快門、一個光束對準器和一個真空卡盤，以確保在維護過程中粒子不會損壞。步進器還配備了自動對焦系統和視覺校正系統，允許鏡頭調整到晶片表面，以便在制圖過程中保持最高精度。總體而言，Multipol是一種先進的晶片步進器，能夠精確地對大小晶片進行陣列設計。它提供了在步進重復模式和掃描模式下操作的功能,其用戶界面可以定制以滿足客戶的特定要求。它還提供了許多安全功能來防止設備損壞。所有這些因素都支持其在半導體器件制造行業的成功。