二手 ULTRATECH NanoTech 160 #9398756 待售
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ULTRATECH NanoTech 160是一種晶圓步進器,專為跨越多個行業的光刻應用而設計。它是一種高度可靠的光刻工具,有助於降低高質量芯片生產成本。它為各種高性能芯片設計提供了簡化的操作、增強的設備可靠性和無與倫比的曝光後性能。NanoTech 160能夠通過掃描矽晶片的表面來產生納米級特性和復雜的設備。它采用了復雜的多場均質叠加系統,以確保光刻工藝的所有層均勻曝光。此單元還允許步進器在曝光時精確對齊薄膜蒙版。ULTRATECH NanoTech 160還具有自動掃描和故障恢復功能。此外,步進器具有高吞吐量、節能的數字掃描頭和像素快門、高可重復性以及能夠控制曝光以滿足剛性生產規範。掃描頭集成了最先進的自動聚焦機進行精確掃描,還具有完全同步的自動刷新抖動技術,以減少刀具的重新加工和報廢。步進器還提供替代的基板曝光選項,非常適合低k電介質電阻率。NanoTech 160還提供自動曝光控制和校準,以最大限度地提高打印口罩的性能並減少曝光錯誤的可能性。其高能LED曝光燈減少了曝光時間,從而提高了生產吞吐量和產量,同時確保了清潔曝光過程,沒有額外的清潔步驟。ULTRATECH NanoTech 160旨在在各種工藝條件下提供可靠的性能。薄膜光伏、顯示器、醫療器械和生物技術等行業都依賴NanoTech 160的可靠運行,使其成為市場上最好的晶圓步進器之一。
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