二手 ULTRATECH Sapphire 100 #293645247 待售
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ID: 293645247
晶圓大小: 4"
優質的: 2011
Stepper, 4"
Reticle size: 3 x 5
Lens resolution: 2 µm
I-Line illuminator wavelength
TAZMO Loader
PC
2011 vintage.
ULTRATECH藍寶石100是專門為MEMS、光電等半導體應用而設計的多場分層晶圓步進器。它是配備了最新光刻、計量和自動化技術的先進工具。該工具具有超快、半微米以下的步長，以及± 1微米的最大可重復精度。它還提供高度靈活的驅動器脈沖、過程參數和定制,以確保企業級生產。藍寶石100是一種經濟、高性能的步進器,非常適合要求極高精度的應用。它能夠準確無縫地提供精確的圖案形狀、特征大小和位置精度。這使得它成為制造微包裝、MEMS、SOI、高級開關和多光圈鏡頭等基本設備的絕佳選擇。步進器配備了強大的高速控制器和優化的光學器件，由多個鏡頭以及多色和高功率LED照明源組成。該系統可掃描1 μ m及以上的5倍步長的基板,最大工藝精度± 0.5 μ m。多域分層階梯式掃描技術減少了上市時間,提高了吞吐量,每小時超過600個部件。ULTRATECH藍寶石100經過微調，提供卓越的圖像質量，更大的吞吐量和諧波照明優化。它還具有一個現場清潔系統，以確保嚴格的汙染控制標準，以及診斷和自動化的過程數據分析，以盡量減少廢料和提高產量。此外,Sapphire 100還具有一個用戶友好的界面,用於編程復雜的幾何形狀,並為多個用戶帳戶提供了改進的工作流選項。總體而言，ULTRATECH藍寶石100是MEMS、光電和其他半導體應用的重要工具。精確度和靈活性相結合，其卓越的圖像質量、多場分層掃描、先進的控制系統和原位清洗，使其成為高性能、高性價比生產的理想選擇。
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