二手 ULTRATECH Sapphire 100 #293645287 待售
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ID: 293645287
晶圓大小: 4"
優質的: 2011
Stepper, 4"
Reticle size: 3 x 5
Lens resolution: 2 µm
I-Line illuminator wavelength
TAZMO Loader
PC
2011 vintage.
ULTRATECH藍寶石100是一種高精度、高通量的光刻設備，能夠在各種基板上產生精確的圖案。該步進器專為先進的研發應用而設計，使制造商能夠準確高效地將薄膜和光子結構轉移到基板上。藍寶石100具有一系列技術優勢，使用戶能夠準確地重現高保真度和可靠性的圖案和結構。系統的集成模式生成器自動、方便地生成最精確的結構，在整個過程中無需用戶幹預。此外,該單元可產生高達1.5 μ m的高保真分辨率。ULTRATECH藍寶石100還具有增強的掃描日場大小,可產生0.25 μ m以下的線寬,並且能夠使用寬達5英寸的晶片。此步進器還具有與各種第三方軟件和系統集成的接口,允許輕松集成數據集,從而使用戶能夠快速生成準確的模式和設計。藍寶石100具有自動掃描日效率和自動聚焦監控功能,可共同確保最佳準確性和可重復性。這臺機器還具有多種曝光選項,可產生最高的微觀結構保真度,如中等分辨率口罩和細線設計。該工具還配備了先進的溫度控制、降塵能力和低振動水平,有助於提高資產的整體精度和性能。ULTRATECH藍寶石100配有多種硬件和軟件配件，包括自動加載/彈出功能、激光光源、報警模型以及各種聯網和數據管理選項。這款設備設計小巧、符合人體工程學,用戶友好,易於安裝和維護。該系統還能夠整合到廣泛的制造業務中。總之，藍寶石100是一種高精度、高通量的光刻裝置，專為先進的研發應用而設計。這臺機器具有一系列技術優勢,包括陣列發生器、高保真分辨率、增強的掃描日場大小、曝光選項、溫度控制、降塵能力和低振動水平。它用戶友好,可輕松集成到各種制造操作中。
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