二手 ULTRATECH Sapphire 100 #293649647 待售

ULTRATECH藍寶石100晶圓步進器是一種先進的光刻設備，設計用於半導體應用中的光質量。藍寶石100能夠處理直徑達6英寸的晶圓，精度為2微米。它還提供各種叠加對齊和吞吐量選項,以確保高密度陣列或復雜結構的精確陣列。ULTRATECH藍寶石100配備了動態對焦系統、6英寸標準鏡頭和先進的成像能力，包括一個允許動態調整曝光參數以達到最大模式精度的自適應觀察器。藍寶石100還允許選擇一系列不同的曝光參數，包括曝光時間、劑量和脈沖數量。該單元具有專有的NEGA π光掩碼程序,可用於精確對齊微米精度高達6微米的結構。ULTRATECH藍寶石100具有處理多種材料類型的能力，包括矽、砷化氙和矽的，以及厚度高達1000埃的薄膜。這臺機器是雙向的，這意味著它可以用來曝光接觸模式或近距離接觸打印產生的光柵。藍寶石100有一個用於自動晶片裝卸的車載機器人處理程序，以及一個用於精確能量讀數的數字能量計。此外，該工具利用先進的光學，包括可旋轉照明，以確保最佳的光傳輸。ULTRATECH藍寶石100包括兩種不同的控制選項-客戶定義的控制資產和自動曝光/智能照明模型,允許用戶設置和控制曝光和聚焦參數,而無需任何外部動手幹預。該設備還能夠進行實時監控，對光刻工藝的結果提供快速反饋。藍寶石100專為快速、精確的光掩碼設計,適用於廣泛的應用。它結合了可調節的曝光參數和精確的光刻能力，可以對復雜的密度結構或非常小的結構進行精確的制圖。該系統結合先進的光學、自動晶片處理和智能照明，進一步確保了最佳光刻效果，達到最高性能標準。