二手 ULTRATECH Saturn III 6700 #293651574 待售
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ULTRATECH Saturn III 6700晶圓步進器是一種用於制造半導體器件的精密光學光刻機。它是一個9英寸自動對齊的高級步進器,具有基於網絡的體系結構和慣性多軸處理系統。這樣就能夠精確、精確和可重復地放置光掩模，以高速生產先進的微電子。6700系列提供卓越的吞吐量,曝光時間可持續提供0.25微米的高端產量。內置的精密運動控制允許快速、可靠和精確的定位和掃描多達8個模具同時進行。操作員界面具有觸摸屏液晶顯示器和全面的用戶診斷功能。6700系列與廣泛的光刻膠兼容，如SOL-Gel、ALD、HRG（High Resolution Glass）。6"曝光區域可以處理從6"到12"的設備大小，意味著單個掩碼集可以覆蓋多種設備大小。高耐受性曝光系統可確保在大範圍內均勻曝光,光源輸出高達3 mW/cm2,劑量曝光45-200 mJ/cm2。從多種來源（包括高分辨率位圖、矢量圖形、圖像和文本數據）輸入的通用數據可通過4 MB板載內存和批量數據輸入/輸出接口輕松管理。配備了硬化的工業空氣軸承，土星III 6700實現了快速、可重復的多軸級運行。內置差速器反射鏡可防止諧波失真,有助於確保曝光期間的可靠操作。此外，6700系列附有強大的曝光和對焦控制算法，兼容所有ULTRATECH高端光刻工具。內置曝光監視器可確保曝光條件統一且可重復,而聚焦監視器允許用戶執行晶圓級聚焦控制。ULTRATECH Saturn III 6700非常適合大規模生產高端光刻重復、精度、速度和分辨率。它兼具成本效益和堅固的特點，是實現各種先進微電子項目的理想選擇。
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