二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #293628684 待售

ULTRATECH Saturn Spectrum 3晶圓步進器是一種高精度、高性能的工具，專為先進的光學光刻應用而設計。它結合了卓越的光學性能、6.5英寸的大場尺寸和先進的光學設計。Saturn Spectrum 3是一個多用戶系統，最大曝光面積為6.5英寸，提供高吞吐量和低擁有成本。ULTRATECH Saturn Spectrum 3先進的光學設計采用4鏡成像系統，提供高寬高比、低圖像失真的卓越圖像質量。它還具有6.5英寸大的現場尺寸,為復雜的設備設計提供了更高的設備覆蓋範圍。它提供了卓越的聚焦深度和較低的NA,非常適合低k1關鍵應用。除了先進的光學外，Saturn Spectrum 3還擁有高速Imation驅動器和負載端口。這提供了快速高效的晶圓處理,從而提高了吞吐量和生產率。ULTRATECH Saturn Spectrum 3還具有廣泛的集成晶圓處理選項，包括自動對準、基於視覺的對準校準系統和集成激光幹涉儀。這可以提供卓越的對齊精度和吞吐量,使其成為大批量生產運行的理想選擇。Saturn Spectrum 3可以在單用戶和多用戶模式下操作。它可以通過標準網絡協議輕松連接到其他工具，允許遠程訪問，並且與基於Windows的計算機完全兼容。它直觀、菜單驅動的界面使其易於使用,並且有多種附加軟件選項可用於自定義和優化特定操作。總體而言，ULTRATECH Saturn Spectrum 3是高精度光學光刻應用的絕佳工具，光學性能優越，吞吐量高，擁有成本低。它具有先進的光學功能和集成的晶圓處理功能,使其成為高級設備設計的寶貴工具,其直觀的用戶界面和廣泛的軟件選項確保了它可以為任何特定應用程序輕松定制。