二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #293642851 待售

ULTRATECH Saturn Spectrum 3是為半導體制造應用而設計的最先進的晶圓步進器。它結合了成本效益、低維護和更高的分辨率以及卓越的準確性和操作效率。Saturn Spectrum 3采用最新的步進場光刻技術，提供卓越的晶圓性能。該設備采用兩級光刻工藝,可實現更高的精度和更小的特征尺寸。這種創新還可以實現比競爭模型更高的對齊精度。ULTRATECH Saturn Spectrum 3還配備了高精度、高居住度的曝光系統，以確保快速可靠的處理時間。這臺設備由兩臺高強度光源供電，提供一致、可重復的性能。用戶可以調整曝光時間，保證高質量的效果。Saturn Spectrum 3還包括多項高級自動化功能。這些功能包括自動、可重復的步進過程控制,可確保更高的跟蹤精度,以及可幫助保持對齊精度的分邊配準和避免沖突。此外，該機還包括一個刀具校準和監控工具，以確保最佳晶片性能。此外，ULTRATECH Saturn Spectrum 3提供晶圓植入和退火能力。該資產利用先進的電子束光刻模型，實現了植入物的高品質抗拒特性，允許前端和後端過程的集成。最後，Saturn Spectrum 3還具有直觀的用戶界面，便於操作和過程控制。該設備利用現代圖形顯示技術，對當前系統狀態和工作流程進行清晰、全面的顯示。總體而言,ULTRATECH Saturn Spectrum 3是一款功能強大且經濟實惠的晶圓步進器,旨在幫助半導體制造商保持工藝和性能精度。此單元結合了光刻方面的最高性能、精密的自動化以及用戶友好的界面,以提供卓越的晶圓性能。