二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #293761611 待售
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ID: 293761611
晶圓大小: 6"-8"
優質的: 2001
Stepper, 6"-8"
Type: Silicon
Flat notch wafer
Reticle size, 6"
DOF Monitor
Lamp intensity
i-Line and GHI
Resolution: 5 µm
(3) GHI Stepper
12-Slots reticle library
GENMARK Robot and controller
GENMARK Pre-aligner
Wafer chuck, 5"-8"
WAS Alignment
Wavelength filter
Illuminator
P/N:5000533 USHIO USH-1003FA Lamp
RASCO TBW-UD60S Chamber
Illuminator performance:
GHI Lamp: 1425 mJ/cm²
i-Line lamp: 455 mJ/cm²
2001 vintage.
ULTRATECH Saturn Spectrum 3是為半導體工業的高端光刻成像而設計的先進晶圓步進器。它采用了9軸直線電機驅動的掃描級和高精度雙鏡計量設備，以獲得更高的分辨率。自動晶圓交換系統允許不間斷晶圓處理，與2英寸、4英寸和6英寸晶圓兼容。步進器還展示了一個高精度的光學對準單元，可以調整以優化單電平和多電平電阻的成像。Saturn Spectrum 3由直觀、用戶友好的圖形用戶界面驅動,它有助於設置、對齊、晶圓交換和作業控制。「智能自動對焦機」等高級功能可在所有類型的晶圓過程中實現高效成像。設置和校準時間是最小的,「熔化延遲」和「循環跟蹤」等功能可提高成像一致性並縮短工藝開發時間。步進器還包括一套廣泛的過程優化算法和成像工具,如「MaxRepeatTM」和「Free LinTM」,它們為各種過程步驟和材料提供了最佳的臨界尺寸和線寬控制。此外,ULTRATECH Saturn Spectrum 3能夠與一系列晶圓處理系統集成,並且可以通過內部工具或使用基於以太網的通信鏈路的遠程位置進行控制。Saturn Spectrum 3也提供多種環境設計以方便細粒環境控制。通過使用專用的「主動監控資產」，操作員可以控制晶圓級的溫度、濕度和振動水平，以最大限度地提高晶圓利用率和產量。此外,步進器還具有「自動烘烤存在」功能,以啟動最佳烘烤條件,而「幹停止」功能則消除了在諸如剝離和PR脫殼等穩定性關鍵過程中的潛在汙漬。在ULTRATECH Saturn Spectrum 3中內置了滅火和緊急關閉等安全功能,以及可吸收的底板,以減少振動。它符合最嚴格的安全標準和認證，因此適合超低汙染和超精密成像過程。土星光譜3是生產高精度、下一代半導體晶片的首要晶片步進器。
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