二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #9182395 待售

ULTRATECH Saturn Spectrum 3是為光刻處理而設計的最先進的晶圓步進器。作為步進器，它能夠通過使半導體晶片暴露於電磁輻射而產生電路特性，如晶體管。Saturn Spectrum 3利用先進的紫外線、光學和其他波源來優化成像和最小化光處理時間。步進器具有令人印象深刻的2 µm分辨率和18mmfield的自動現場縫合。其剛性結構能夠快速準確地放置特征,使掃描速度提高到100毫米/秒。它還具有復雜的波前分析和對準系統，非常適合晶圓細化和精確放置。ULTRATECH Saturn Spectrum 3采用雙元件光刻系統，采用自上而下的對齊方式。這使得它能夠高效率地處理晶片和暴露在直徑達18mm的光學結構。它還具有高穩定室和負載鎖,可支撐工作溫度範圍為10-40°C的5英寸基板。步進器附帶了一個與Windows 10和Linux操作系統兼容的用戶友好的軟件界面，並同時制造了一個孤立的和法拉第的籠子，以保護敏感的數據和知識產權。它具有220VAC、三相的電源要求,還支持以太網、RS232/485或I/O接口通信方法。這種步進器非常適合半導體工業需要的光刻成像、化學放大、蝕刻等先進光刻工藝。無論是用於研究領域、工業領域，還是醫學領域，土星光譜3都可以備份其達到目前和未來晶圓加工標準的能力。