二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #9186993 待售

ULTRATECH Saturn Spectrum 3是一種最先進的晶圓步進器，提供了半導體製造的自動化方法。設備設計方便各種集成電路層的高通量生產。采用集成的視覺對準系統，能夠實現高分辨率的配準和曝光精度，確保最可靠的層對層均勻性。Spectrum 3利用具有4英寸晶圓匹配能力的立體成像,並具有具有5軸掃描能力的四級XY自動定位裝置。該機還具有先進的階段控制工具，具有自動晶圓交換資產和集成真空控制模型。這樣可以方便地從盒式磁帶和6區加熱爐中裝卸晶片。有了這一特點，晶片前後兩側均可均勻熱暴露。為了進一步提高精確曝光精度，該設備還配備了可選的短弧高強度放電（HID）燈。Spectrum 3利用計算機驅動的光學級和視覺檢查系統,在開始曝光之前檢查晶圓階梯邊緣以進行註冊。它具有超高分辨率（900nm）配準功能,具有單一和雙陣列功能。該單元還具有高度的靈活性,可與各種晶圓處理環境完全兼容,並且可以處理從0.25um到28nm的當前技術。該機器擁有強大的軟件包,旨在最大程度地提高吞吐量和效率。其用戶友好的圖形用戶界面（GUI）提供實時和離線數據分析以及2-D和3-D可視化工具。因此,Spectrum 3是精密半導體制造環境的絕佳選擇。