二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #9280616 待售

ULTRATECH Saturn Spectrum 3是一款最先進的晶圓步進器，旨在滿足苛刻生產設施的需求。這種土星光譜的特殊模型提供了前所未有的性能、準確性和可靠性。Saturn Spectrum 3的動態視場可達10°，使得晶片在1 µm的分辨率下對齊成為可能。為了達到這樣的精度，步進器配備了高性能掃描儀、集成精密移動執行器、高精度級和高速處理器。為了保持步進器的準確性和可重復性，ULTRATECH將柔性引導技術納入了機器的結構。這種設計確保晶片在對齊時保持穩定，即使受到振動或錯誤移動。集成精密移動執行器還有助於確保準確和可重復的性能。利用微型直線電動機，執行器可以以x、y、z軸移動步進器，最大速度為40mm/s。這種高速致動通過集成自動對焦（AF）功能進一步增強，使機器能夠自動識別晶圓的最佳對焦位置。為確保大幅節省成本,ULTRATEK為ULTRATECH Saturn Spectrum 3配備了多種軟件工具。步進器的軟件包包括一個統計反饋程序、一個微觀檢查程序和一個跟蹤報告功能，以監測機器隨時間推移的性能。而且土星光譜3是為了容易融入生產線而設計的。它具有與自動化處理系統的標準通信協議的兼容性，並且可以通過附加硬件組件進行升級以提高性能。ULTRATECH Saturn Spectrum 3具有出色的性能、堅固的結構和易於集成的特點,能夠保證可靠、準確的性能,滿足具有挑戰性的生產要求。