二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #9281727 待售

ULTRATECH Saturn Spectrum 3是一種高精度晶片步進器，設計用於排列各種尺寸的基板和晶片，作為小晶片設計制造的一部分。該產品采用了最先進的機器技術，並將其與先進的光學技術相結合，允許在基板或晶片上極精確地應用光刻圖案。Saturn Spectrum 3由安裝在精密運動系統上的高分辨率鏡頭設備組成，一起允許最大精度的對準和模式應用。高精度透鏡裝置位於晶片級磁頭內，提供可靠的步進性能和精確控制的運動。為了進一步確保圖樣投影到基板或晶片上的精度,ULTRATECH Saturn Spectrum 3配備了圖像失真校正機,使步進器能夠快速對齊基板或晶片。此刀具還可確保最佳陣列放置,因為步進器在工藝室中的不同位置移動時能夠進行自我校準。Saturn Spectrum 3的設計目的是提供X和Y軸上25毫米的全晶圓或基材尺寸上1微米的最大工藝分辨率。曝光模式範圍從0.25到5微米，產生非常精確的設備和微觀結構。步進器允許同時使用光刻膠和幹膜光刻，允許特殊材料處理和增強功能。此外,步進器還配備了內置的自動設備識別資產,為部件註冊提供準確的部件,以確保精確的模式對齊。除了先進的光學和機械設備外，ULTRATECH Saturn Spectrum 3還包括一個最先進的軟件，能夠最大限度地控制過程。該軟件提供實時數據解釋以及所有處理步驟的在線可追蹤性。此外,它還允許對不同類型的光刻進行精確的圖樣繪制和調整。總體而言，Saturn Spectrum 3是一款頂級的晶圓步進器，其高度先進的光學和運動系統提供了非凡的精度。它確保了不同類型光刻的精確對準和圖案應用，使其成為生產高度精確的器件和微結構的理想工具。