二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #9293521 待售

ULTRATECH Saturn Spectrum 3晶圓步進器是一種半自動工具，設計用於生產過程中半導體的精確高效對準和曝光。此工具具有9 "x9" x-y級、兩個8"循環級和600mm景深。它利用計算機控制的數字模式發生器（PG），提供亞微米分辨率，為高吞吐量提供重復精度。Saturn Spectrum 3晶片步進器建立在一個健壯的框架上，在工具處理晶片時提供相當大的穩定性。它的兩個8英寸循環賽階段在曝光時提供了晶圓的精確對準和定位，允許雙面處理、多級制圖和高吞吐量。此外,刀具的所有三個軸都可以協同工作,以促進半導體處理的最先進操作。該工具包含的PG驅動軟件套件的一部分是自動對齊功能,可在晶圓的設置和微調過程中提供幫助。這一功能不僅提高了吞吐量，而且還有助於確保晶圓在每層曝光時的最佳對準。2000線/毫米光學系統消除了在較高的NA水平下可能發生的幾何失真和光耀斑,從而提供清晰的圖樣圖像。結合聚焦離子束塗層,ULTRATECH Saturn Spectrum 3晶圓步進器提供了一個完全自動化的系統,可以消除手動過程。它的低熱漂移確保了溫度補償的準確性，而低維護成本使其成為各種工藝和基板的理想工具。此外,它的計算機控制軟件確保了準確性和可重復輸出,即使在廣泛的生產周期中也能提供靈活性和良好的效果。Saturn Spectrum 3晶片步進器提供先進、自動化的半導體加工,精確度和精確度.其計算機控制的精確度、x-y能力和雙面加工使其成為生產最先進基板的強大工具。