二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 300 #293807072 待售
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ULTRATECH Saturn Spectrum 300是一種最先進的晶圓步進器,旨在為直接寫入光刻應用提供精確的階梯式曝光。它提供了高性能和極低的每次曝光成本的獨特融合。步進器基於ULTRATECH專有的土星300平臺技術，提供2 µm的先進分辨率。它包含具有自動對準能力的共振線圈模式掃描階段、先進的STEM成像設備、集成系統控制以及強大的真空泵單元。步進器還具有一個高度靈敏的光學CCD相機連接到四軸旋轉顯微鏡0.0025微米分辨率。這種成像相機可以幫助用戶準確捕捉每一個細節，盡管圖樣非常小。Saturn Spectrum 300采用集成光學機器,可確保低像差產生和高保真成像。光學工具可處理多種測量範圍，動態範圍高，測量時間快。步進器還具有高質量、可靠的飛行頭資產，可用於低粒度的高通量暴露。此飛行頭有助於在曝光步驟中準確曝光和監控模式運動和失真。它還有助於提供具有亞微米特征尺寸的均勻扁平標線,並有助於高速執行光刻和檢查任務。ULTRATECH Saturn Spectrum 300還提供方便的用戶訪問其所有組件。用戶界面布局良好，易於使用。步進器包含若幹安全特性，如溫度監測和攝像頭屏蔽罩，以保護敏感部件免受環境危害。最後，土星光譜300能夠在最高密度分辨率水平上提供卓越的圖像質量。其先進的功能和先進的真空泵模型使其成為所有直接寫入光刻應用的理想工具。
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