二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 300 #9163594 待售

ULTRATECH Saturn Spectrum 300晶圓步進器是一種用途廣泛、成本效益高的生產光掩模的工具。該設備具有高精度、低成本的晶圓對準和制圖能力。它可以為當今半導體器件的小特性提供精密、精確度高的光刻。Spectrum 300具有6 「x 6」的曝光視場，加速視場高達6.8 「x 6.8」。步進器具有4.3英寸的標線與晶片間隙,可在單個基板上的多個設備上實現高保真成像。步進器還具有使用不同曝光能量以及使用相移和無色成像過程成像的能力。該系統配備了增量高度調節功能，允許從晶片到晶片的陣列校正，而無需物理移動晶片級。該單元還采用了無電場成像技術，消除了傳統掩模成像過程中可能發生的圖像失真。在圖像保真度方面，Spectrum 300以8英寸激光光路和線性驅動機提供出色的分辨率。步進器還具有三場掃描能力和高吞吐量,可提高工作效率。該工具可實現高達3200 um/秒的總掃描速率。該資產可以配置為總共有16次曝光，這允許圖像覆蓋和擴展光刻跨越多個模具。Spectrum 300能夠成像二進制光柵和Leff光柵以及重復模式。該型號具有0.25 μ m的特征尺寸分辨率,采用啟用talbot的鏡頭,適合先進和苛刻的光刻應用。設備總行程範圍為25mm, x和y,精度為+/-2 μ m。在安全性方面，Spectrum 300有幾個特性和選項，例如；眼部安全快門,雙鏈操作和作業中止.步進器具有最先進的CE兼容控制系統和用戶友好的圖形界面,便於操作。Saturn Spectrum 300 wafer stepper是生產光掩模的一種成本效益高且可靠的工具。該設備配備了多種功能,可實現精確精確的成像、高生產力和圖像保真度,以及使機器適合各種光刻應用的安全功能。