二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 300 #9312357 待售

ULTRATECH Saturn Spectrum 300是一種先進的晶圓步進器，在制備用於半導體制造的光掩模方面提供了卓越的靈活性。它與自動晶片封裝設備配合工作，提供均勻的基板曝光和輸送。Saturn Spectrum 300提供了多種對基板加工很重要的特性，包括200 mm晶片級、6 M像素照相機和一臺50,000 rpm的電機來驅動晶片。它能夠以標準和非標準格式進行曝光掃描,並具有自動模式旋轉、激光模式檢查、模式配準和模式相關基板曝光等特殊功能。它還有一個直觀的圖形用戶界面，允許用戶輕松編程和監控他們的照片掩碼操作。這種先進的晶圓步進器設計用於處理各種基材，包括玻璃、石英和聚酰亞胺。系統的高靈敏度意味著它能夠以最小的失真在基板上精確精確地放置圖樣。它還能夠在掃描過程中以非常低的失真縫合圖樣。ULTRATECH Saturn Spectrum 300在晶圓基板上提供一致的曝光劑量，允許更快的生產時間和更少的不可伸縮模式問題。該單元可以編程為在同一晶圓基板上創建相同模式的多個掃描，從而提高吞吐量和生產率。這臺機器也可以用來測量劑量，精確度高達百分之幾。Saturn Spectrum 300的設計融合了全面的安全特性，包括內置的安全裝置，以保護晶片免受紫外線和電子束輻射。其他安全特性包括防止光學損壞基板的光柵，以及消除雜光效應的防眩光濾鏡。該工具還集成了雙級冷卻資產,以確保精確的溫度範圍和最佳的工藝性能。ULTRATECH Saturn Spectrum 300能夠以最高的可靠性產生高解析度的圖樣。其先進的算法驅動技術使其能夠獲得最高的準確性和可重復性。它為廣泛的工藝操作提供了無與倫比的支持，包括基材暴露、基材分期、模式配準等等。Saturn Spectrum 300晶圓步進器由於其用戶友好的設計和先進的功能，是半導體Fab操作必不可少的工具。