二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 300 #9357231 待售

ULTRATECH Saturn Spectrum 300是一種高性能晶圓步進器，專為大規模生產先進半導體器件而設計。該機在半導體加工中達到優異的產量和吞吐量性能，工作面積30 x 30厘米。它是一種混合內置投影步進器，具有大面積鏡頭設備和全自動掃描能力，適合亞微米光刻應用。該系統配備了兩個獨立的光子成像系統，使其能夠處理立體光刻，而無需使用光掩模適配器。它能夠處理正負光刻膠，使其成為抵抗加工的理想之選。此外，獨特的'邊緣跳躍'特性允許在晶圓上精確定位觸點。土星光譜300利用先進的九軸運動控制單元，在半導體曝光時實現精確的重復性和穩定性。它設計為高度穩定和可靠,並且能夠在操作過程中損失不到其總掃描面積的5%。與傳統的晶圓步進器相比,該機器的運動部件更少,從而提高了效率並降低了維護成本。它采用全玻璃主光學路徑,可確保高性能和超低失真率。此外，它使用空氣-水霧冷卻，確保了均勻的涼爽而不影響光路。這有助於提高圖像和吞吐量性能。ULTRATECH Saturn Spectrum 300由功能強大但用戶友好的軟件包控制，為用戶提供了各種半導體處理要求的易於操作和靈活性。它還提供了高級數據管理功能,如自動更正錯誤和完全掃描召回機。土星光譜300是前沿半導體加工的理想工具。它提供了優越的產量和吞吐量,最大限度地減少了因尺寸或材料變化而造成的中斷,並且具有很高的可靠性和經濟效益。它旨在滿足最高的精度和準確性標準,並為當今最先進的半導體器件的生產提供最新的性能水平。