二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 300e #9221672 待售

ULTRATECH Saturn Spectrum 300 e是一款高性能晶圓步進器，旨在提供卓越的分辨率、吞吐量和精度。利用最先進的成像系統,Spectrum 300 e能夠處理150 mm晶圓,使其定位精度達到2微米。2 X遠心鏡頭利用超低失真，在整個可視場上提供最佳聚焦和均勻圖像。這使得步進器能夠在整個晶圓尺寸範圍內產生最佳分辨率。Spectrum 300 e還具有兩個光子計數器掃描儀，利用激光束精確測量成像系統的傳遞函數、漂移和噪聲。這不僅確保了準確可靠的成像，而且還確保了即使是最復雜的蒙版也被精確地復制。晶片裝載站的設計為晶片裝卸提供了一個簡單的接口。除了標準的操作模式外，晶片裝載機還可以方便地配置為前後對齊，從而實現最佳的吞吐量。性能方面，Spectrum 300 e是市場上速度最快的晶圓步進器之一。它采用兩線曝光系統,能夠提供高達300 mm/秒的掃描速率,確保快速、準確地完成該過程。為確保最大效率,Spectrum 300 e附帶了一套軟件,可有效監控和管理步進器。除了控制步進器和晶片載荷外，軟件套件還提供了模式對準、邊緣檢測、晶片旋轉角度微調、晶片載荷場等高級功能。除了令人印象深刻的性能外，Spectrum 300 e更易於使用和維護。憑借直觀的用戶界面和用戶可更換的部件，它可以很容易地由經驗最少的人員操作。此外,步進器的設計考慮到耐用性,並定期進行報廢測試,以便客戶對其性能充滿信心。Saturn Spectrum 300 e是一種創新和可靠的晶圓步進器,旨在提供最佳的精度、吞吐量和性能水平。它結合了復雜的成像算法和易於操作,使其成為任何實驗室或生產設施的理想選擇。