二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 3e #9160685 待售

ULTRATECH Saturn Spectrum 3e是一種高性能、通用的晶圓步進器，能夠生產具有15 nm範圍特性的晶圓。它具有廣泛的模塊和選項,允許各種定制級別,其高速、自動化的對準設備保證了精確的定位。晶片步進器是圍繞一個電動、XY級和Z定位器設計的，用於精確的步進和重復對準，以及一個高分辨率的照明系統，用均勻的照明照亮單個晶片。步進器由安裝在舞臺上的交流電動機驅動，能夠提供高達0.1 µm分辨率的線性運動。ULTRATECH SATURN SPECTRUM 3E還具有高速圖像捕獲單元，以獲取每幀高達5 Hz的晶片圖像。這臺機器能夠檢測到小缺陷和小差異,即使在尺寸小於15 nm的特征中也是如此。除了設備外，Saturn Spectrum 3e還配備了一系列程序，專門用於圖樣設計、檢查、計量和制造工作流程管理。它還兼容與多個軟件程序和標準布局格式兼容，如GDS、CDL、VHDL、CIF和OASIS，允許在定制和集成現有工作流方面有更大的靈活性。晶片步進器提供多達50個晶片卡盤放置選項,因此用戶可以對齊主卡盤以優化照明和圖像覆蓋。它還配備了定制的、功能強大的照明設備，能夠提供高達1.2 kW的紫外線照明。SATURN SPECTRUM 3 E采用了專利的閉環刀具對齊技術，在尺寸小至15 nm的特征的圖樣設計中，允許極其精確的位置精度。它還具有增強的晶片卡盤聯鎖功能,可確保晶片對準保持優化以適應多次曝光。ULTRATECH Saturn Spectrum 3 e是一種可靠、高性能的晶片步進器，能夠生產功能低至15 nm的精密晶片。這款晶片步進器具有強大的照明能力、精確的對齊和通用的軟件集成,非常適合各種應用程序和工作流程。