二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 3e #9232658 待售

ULTRATECH Saturn Spectrum 3e（Spectrum 3e）是一種先進的晶圓步進器，旨在為微電子制造提供高精度的基板曝光。它采用ULTRATECH申請專利的單反射計量設備,利用最新技術為任何尺寸的基板提供精確、可重復的結果。Spectrum 3 e的先進光學器件設計為提供精確的覆蓋,用於溝槽、隔離、光刻、介電蝕刻等。它具有非接觸、低噪音、低維護的AutoFocus系統,可快速調整以適應基板高度變化。先進的高分辨率成像和檢查裝置有助於預防缺陷，同時在整個領域提供2微米以下的分辨率。此外,升級後的曝光機提供靈活範圍的晶圓和工藝曝光率要求.該設備采用最先進的舞臺定位工具，用於精密機器人技術，確保所有焦點級別的準確性一致。其先進的多點校準對準驗證並記錄每一個基板的位置。Spectrum 3 e還具有定制設計的激光源,利用染料激光器和半導體激光器增強成像和蝕刻能力。Spectrum 3 e包含用於增強過程控制的完整軟件包,包括為每次曝光定制配方的編程選項。該設備還配備了暴露時間和劑量精度的內部預測器。此外,業界領先的在線監控資產可為運營商提供有關設備性能的實時反饋。在安全性方面，Spectrum 3 e是UL/ENL評級的安全性，並具有運動統計跟蹤模型來檢測任何設備異常。此外,該設備還集成了最新的診斷功能,可幫助確保最佳安全性,同時減少停機時間。綜合精密的ULTRATECH Spectrum 3e晶圓步進器是任何微電子設備的理想選擇，希望最大限度地提高基板精度和工藝兼容性。其先進的光學和成像系統提供了無與倫比的準確性和過程效率,同時其全面的安全功能確保了過程的可靠性。