二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 3e #9280618 待售

ULTRATECH Saturn Spectrum 3e是為精密光刻投影應用而設計的高性能步進設備。它是一個多級系統，相控陣由三個高效鏡頭組成，允許拍攝到0.2微米標稱。該單元具有一系列獨立的光源，使該單元能夠快速準確地檢測邊緣缺陷、特征錯位或重叠。ULTRATECH SATURN SPECTRUM 3 E具有靈活的配置，隨附選裝的第4鏡頭，用於高解析度成像。它還包括一個正在申請專利的Sample Exchange Chamber，允許用戶快速無縫地切換樣品。該機還具有很高的耐用性，具有持久的設計，保證隨著時間的推移分辨率最高。Saturn Spectrum 3e提供了高級光學設置的功能,可以調整光學設置以輸出精確的成像結果。它還包括一個創新的、高性能的相機工具。車載成像軟件自動將相機參數與光刻結構同步。此外,用戶還可以以全幀分辨率捕獲圖像,以及小至0.1微米的標稱圖像。該資產能夠進行精細光刻工藝,如CPA（等高點精確度）或FPD（精細間距檢測）。SATURN SPECTRUM 3E還包括各種可調節參數，如曝光強度、光學成像設置等。該模型允許在需要時選擇並快速對齊各種掩碼、晶片或其他專用焦點。最後，ULTRATECH Saturn Spectrum 3e包含一系列安全功能，如板載除塵器和溫度敏感的冷卻設備，其設計目的是確保最佳性能和保護措施。該系統還包括一個在發生環境事故或其他不正常情況時的保護箱。總體而言，ULTRATECH SATURN SPECTRUM 3E是一種高度先進的晶圓步進器，設計得可靠、高效、精確。它的許多功能使用戶能夠快速創建他們想要的定制光刻結果,並獲得最高的準確性和專業水平的結果。