二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 3e #9293525 待售

ULTRATECH Saturn Spectrum 3e是一款最先進的晶圓步進器，設計用於高精度生產精密工程微電子產品。它是一種全自動設備，配備先進的機器人功能，旨在滿足微電子產品行業的廣泛要求。ULTRATECH SATURN SPECTRUM 3E能夠生產從晶片到4-Δmm尺寸的多個產品。Saturn Spectrum 3e使用專有的高分辨率曝光系統來精確定位光刻位置,自動以難以置信的精確度曝光和移除光阻的目標部件。此外，它還配備了確保最高可重復性和性能的機器人功能。例如,3 e使用6軸運動,使其能夠準確地拾取和放置零件,而無需其他對齊工具。此外，3 e使用車載視覺單元驗證所有運動，從而消除振動和其他環境因素造成的錯位。3 e還包括一個高度敏感的計量機器，使它能夠快速驗證過程參數的準確性和可靠性。這包括尺寸計量學、表面計量學以及自動檢查能力，以確保微電子產品的制造質量。3 e除了速度快、準確外，鑒於其高端能力也極具性價比。其高吞吐量可減少停機時間和提高吞吐量,從而獲得更大的投資回報。此外,它的模塊化設計允許輕松集成到一系列生產線中,而其具有競爭力的單位成本則允許全面降低生產成本。最後,3 e的設計著眼於安全性和可靠性。其智能等離子體轉換器工具采用低臭氧濃度發生器（LCG）顯著減少停機時間，而其尖端鈍化資產確保其安全運行，使3 e能夠自信地應對最苛刻的應用。綜上所述，SATURN SPECTRUM 3E是一種革命性的晶圓步進器，提供無與倫比的精度、速度和成本效益。它是精密工程微電子產品生產的理想選擇，可靠、經濟實惠。