二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 3e #9378645 待售

ULTRATECH Saturn Spectrum 3e是ULTRATECH開發的最先進的精密晶圓步進器。它具有高精度、自動化的級,可以以比競爭對手步進解決方案更好的均勻性和準確性移動晶片。ULTRATECH SATURN SPECTRUM 3E使用超精確的蔡司卡爾蔡司光束路徑設備在晶片上進行精確的曝光模式。光學系統由一個高功率激光、一個照明透鏡和一個投影透鏡組成，用來捕捉從遮罩板到晶圓上的圖樣。Saturn Spectrum 3 e具有先進的「自動對焦序列控制」單元（ASCS）,允許操作員針對所需的工作要求優化焦點設置。ASCS機還提供微觀和微觀鏡頭輪廓，調節激光的強度和焦點，以保證高質量的圖像。SATURN SPECTRUM 3E配備了25W的固態激光器，利用直寫技術減少了反沖時間，提高了寫入晶圓上的圖樣質量。這種創新的激光工具能夠掃描小尺寸的特征,具有出色的邊緣敏銳度和出色的對焦深度。ULTRATECH Saturn Spectrum 3e有一個全自動的過程控制模塊，允許操作員監視過程中的過程變化並提供預測診斷能力。此模塊還使操作員能夠根據每個晶片的材料和工藝配方調整參數,而無需手動更改步進器的設置。步進器的閉環優化能力允許以更高的精度進行更精確的陣列設計ULTRATECH SATURN SPECTRUM 3E允許各種半導體電路陣列應用的高通量和精度。這種步進器為光刻、離子銑削和物理氣相沈積等工藝提供了快速、可靠和經濟高效的性能。它設計用於光學和熱穩定材料。Saturn Spectrum 3 e提供了多種選項,例如可編程糾錯工具、特殊曝光掩碼、高級自動化功能、自動調整和自動對齊功能,以及支持多種在線光學和掃描技術的精密計量套件。總之，SATURN SPECTRUM 3E是一種最先進的高精度晶圓步進器，它為具有多種基材的陣列制作工藝提供突破性的性能。它具有高度準確和自動化的功能,有助於減少流程變化並提供可靠的流程性能。它是半導體工業中精密制圖應用的理想工具。