二手 ULTRATECH Saturn #9089260 待售

ULTRATECH Saturn是最先進的晶圓步進器。它旨在自動、精確地對準和暴露晶片上直徑最大為8英寸的集成電路和其他結構。其綜合、全面的溫度控制技術保持了清潔、穩定的環境，同時允許高度精確的對準和過程控制。此設備特別適合於先進的制造技術,如超細線寬、極寬比和深紫外線曝光。該系統由高端、堅固、耐用的架構構建而成，保證了長壽命的連續運行。此外,土星還提供多種高級功能,例如全域光學成像單元、協同處理體系結構和集成技術,以實現最高級別的尺寸均勻性和高精度叠加控制。集成到機器中的紫外線光源是專門為最高曝光精度和卓越性能而設計的。此外，它還支持廣泛的波長和能量，可以很容易地為各種不同的過程和應用進行配置。ULTRATECH Saturn是用精密的伺服工具建造的，能精確移動照明和步進機構。光學資產的X和Y軸具有高分辨率的編碼器，允許晶圓的高精度對準。此外,高級步進電機允許手動/半自動控制曝光過程。此外，土星使用專有的圖像處理技術來獲得更高的對準精度。它提供了一個先進的用戶界面和集成的控件，以快速和準確的實時調整對齊，並允許手動和自動處理。總體而言,ULTRATECH Saturn是一款功能強大、精密的晶圓步進器,經過精心設計,能夠為各種精密的制造工藝提供精確的結果。憑借其高端、堅固的體系結構和集成的高級功能,它是高效、方便的晶圓處理的理想選擇。