二手 ULTRATECH Spectrum 3 #9128729 待售

ULTRATECH Spectrum 3是一種最先進的晶圓步進器,是一種先進的機器,能夠在圓形晶圓上產生精細的微電子電路。作為其先進光刻系統Spectra系列的一部分,Spectrum 3具有先進的精度和準確性,同時提供了無與倫比的自動化和用戶控制級別。ULTRATECH Spectrum 3具有高達2500微米/秒的一流掃描速度,能夠在傳統系統所需時間的一小部分內產生復雜的電路。該設備的專利脈沖調諧技術確保掃描時最小的熱幹擾,從而確保圖像在晶圓上的精確定位。Spectrum 3支持行業標準的重復條件，允許它使用廣泛的光學材料操作，包括重金屬和致密蝕刻抗蝕劑。提供無與倫比的自動化級別,ULTRATECH Spectrum 3可用於單曝光或雙曝光模式。在兩次曝光模式下，可以使用多光刻或階梯式曝光模式操作。此外,它還具有計算機控制的自動聚焦調整功能,可確保優化整個晶片的聚焦,從而最大程度地減少任何晶片輪廓不均勻所造成的失真。Spectrum 3的設計具有最大的靈活性和可擴展性。它有一個集成的模塊化機器人系統，有八個盒式磁帶，可以預裝晶圓。這樣就可以進行連續的自動化操作,而無需手動加載或晶圓處理。該單位也可以無人值守的方式運作，大幅降低人工成本。此外,快速更換盒式磁帶允許在單個機器中使用多個晶圓大小。每個光刻室的參數可以單獨編程，允許ULTRATECH Spectrum 3滿足最苛刻的公差要求。該工具還具有直觀的用戶界面,其中包括交互式圖形叠加,以幫助設置和操作選項。在ULTRATECH，提供最先進的光刻系統只是方程式的一部分。該公司提供無與倫比的服務和支持級別,確保每一項資產都達到最佳狀態。ULTRATECH工程師和服務技術人員網絡全天候提供安裝、維護、維修和培訓方面的幫助。所有這些都確保客戶能夠自信地依靠ULTRATECH系統來滿足其所有光刻需求。