二手 ULTRATECH Spectrum 3 #9243698 待售

ULTRATECH Spectrum 3是一種最先進的晶圓步進器，利用先進的光刻技術在半導體晶圓上創建精細電路和幾何形狀。這臺機器在單陣列和雙陣列工藝中提供了卓越的精度、速度和可靠性。Spectrum 3的5軸運動控制設備有助於減少循環時間，提高均勻性和準確性。它采用集成晶片對準系統，在三維定位平臺上定位晶片時提供亞微米精度，保證了晶片的優越覆蓋。雙軸劃線頭確保將圖像精確地再現到石版膜上,並且掃描單元以最高30um/s的速度以襯裏或盒裝掃描模式均勻地曝光每個模具。ULTRATECH Spectrum 3專為過程多功能性和可擴展性而設計，這使得它可以與不同的標線尺寸和狹縫設計一起使用。它由高性能步進電機提供動力,可提供最高的機械精度和可重復性。該機還設有先進的光學平臺，通過優化照明、數值孔徑和對焦控制來提高光刻性能。它結合了集成的隔振技術，以盡量減少由於振動或溫度造成的光刻工藝惡化。Spectrum 3的電子工具從根本上設計為最大限度地提高光敏塗層精度。它具有廣泛的控制選項,包括數字顯示屏和具有易於使用的圖形用戶界面的控制器。ULTRATECH Spectrum 3還提供了多種圖像分析工具,包括CEL自動故障檢測資產,它提供遠程診斷功能和來自模型的實時反饋。總體而言,Spectrum 3是一種功能強大且有效的晶圓步進器,旨在確保各種光刻工藝的卓越功能。它提供前所未有的準確性、速度和可重復性,旨在簡化生產過程,同時提供無與倫比的質量控制。