二手 ULTRATECH Spectrum 3 #9395523 待售

ULTRATECH Spectrum 3是一種晶圓步進器，其開發重點是為微電子器件制造過程提供精確的處理和優化。此步進器專為高分辨率光刻而設計,為制造小型特征尺寸的挑戰性過程提供精確度和高通量。光譜3具有一個254納米激光系統，該系統產生強烈的紫外線，能夠在半導體晶片上書寫各種先進的圖樣。此步進器還具有高級成像功能。晶片性能矩陣的狹縫掃描成像優化了每個晶體元件的曝光，確保了拷貝的最高質量。此外，它的數字圖像穩定（DIS）特性導致了優越的叠加對準和更平滑的圖像輸出。ULTRATECH Spectrum 3設計具有較高的景深和優化的聚焦系統，以提高吞吐量。其先進的光學元件也增加了基板尺寸能力，同時保持了相同的聚焦和覆蓋精度，同時支持5「和8」晶片。它還與包括SOG、深層紫外線環氧樹脂、PIBC等多種光刻材料兼容。除了先進的光刻功能外,Spectrum 3還具有許多特殊功能。它支持各種高級功能,如基板路由、現場和跨站點縫合以及串行叠加對齊。其高吞吐量和精確度也減少了光刻控制獲取反饋所需的時間。此外，這種步進器的設計采用了耐化學結構，使其能夠處理傳統步進器範圍之外的暴露和加工條件。總體而言,ULTRATECH Spectrum 3是一種強大的晶圓步進器,專為先進的微電子器件制造而設計.通過其高分辨率的光刻能力和專門的特點，這種步進器可以提供出色的吞吐量和準確性，使其成為高度精確和技術先進的操作的完美選擇。