二手 ULTRATECH Spectrum 3e #9249076 待售

ULTRATECH Spectrum 3e是一種高端、中端晶圓步進器，旨在為新興光刻應用的需求提供經濟高效的解決方案。該步進器設計用於提供晶圓的精確和可重復成像。Spectrum 3 e能夠以精確和可重復性的方式產生質量最高的晶片圖像，並為關鍵光刻參數提供卓越的工藝控制，以實現一致的性能。ULTRATECH Spectrum 3 e具有一系列高級功能和強大的工具,可提高吞吐量和輸出精度。用戶友好的接口設備可以精確控制成像參數和快速設置,使這種步進器非常適合快速周轉時間和高質量的結果。該機的光刻頭提供可變的數值孔徑和偏轉感應，提高步長和可重復性，而不影響精度。此外，集成光學均衡器為輸入和對齊具有挑戰性的標線提供了精確的精度。步進器還包含一個集成的叠加測量系統,該系統提供3-D層和遮罩圖像高度的非接觸、無損測量。此外，紫外線LED或汞弧燈可用於曝光，允許靈活地優化工藝和分辨率要求，同時保持低顆粒引入和圖像質量。集成的標線檢查單元具有卓越的分辨率能力，允許更高的吞吐量和產量。Spectrum 3 e的高級標線掃描儀可以精確檢測小至0.3微米的缺陷，允許檢測甚至最具挑戰性的缺陷和異常。這臺機器還支持傾斜和輪廓視圖的2-D和3-D掃描功能。ULTRATECH Spectrum 3 e還提供了一系列其他功能,有助於其成為高性能、經濟高效的工具。它提供了真空緩沖、可調節的高度級和自動級監控資產，可以在關鍵參數發生意外變化時向用戶發出警報。此外，先進的MOSFET幹泵控制著氣壓和氣體流動，而質量流量控制器則有助於確保清潔環境和防止汙染。Spectrum 3 e是一種可靠且功能強大的晶圓步進器,可提供非常精確且可重復的成像解決方案,滿足您所有的光刻需求。其強大的功能和先進的技術使ULTRATECH Spectrum 3 e能夠提供卓越的性能,最終提高了質量並提高了產量。