二手 ULTRATECH Star 100 #293617180 待售
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ID: 293617180
優質的: 2006
Stepper
Illumination field size: 39 x 18 mm
Light pipe type: Diffuser
Field size: 30 x 18 mm
MVS Type:
Patmax
Series 2 bridge
Flipper less
Reticle size: 3" x 5"
PC With windows 2000 Platform
Air probe type: Round
Edge switch: Air probe
Theta stage: Pop-up
Wafer handler:
Round chuck, 4"
Autoloader, 4"
Options:
Chuck and autoloader, 5" and 6"
Upgraded to automation robot system
2006 vintage.
ULTRATECH Star 100是為先進的光刻工藝而設計的晶圓步進器。它為計量和檢查等各種中央過程提供了出色的分辨率和準確性,從而使生產過程更加容易和高效。ULTRATECH STAR100是一種先進的光刻步進器,能夠處理範圍廣泛的晶圓尺寸,從6英寸到12英寸。它具有350 W燈、0.25-4.00 NA數值孔徑折射光照的高功率UV光源以及10X/6X的光學還原。這使設備能夠創建具有良好景深、聚焦深度和高對比度圖像功能性的高分辨率圖像。Star 100配備了位於晶圓平面和步進重復級別的定位系統。這提供了快速重復定位的高精度和較高的步進和重復率,從而可以更快地覆蓋較大的工藝區域,同時保持高精度的工藝。此外,步進器還配備了電動晶片級,可實現快速、精確的晶片對準。STAR100還具有交互式用戶界面,簡單易用。用戶能夠訪問應用程序軟件主機,以圖形方式表示和分析數據。這允許用戶查看圖形和數字格式的數據。此外,用戶界面還可用於設置和控制曝光參數。ULTRATECH Star 100是光刻晶圓步進器行業的領先者,為高級應用提供卓越的分辨率和準確性。它具有電動晶片定位系統和用戶界面,便於設置和操作。此外,它的高功率UV源允許創建具有良好景深和聚焦深度的高分辨率圖像,從而允許在每個圖像中創建更精細的細節。ULTRATECH STAR100是需要強大可靠的光刻步進器的用戶的完美解決方案。
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