二手 ULTRATECH Titan 4700 #149700 待售

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ULTRATECH Titan 4700
已售出
ID: 149700
優質的: 1997
Wafer stepper, 5", 6" & 8" Semi-auto 2.0 micron lens 8" Universal Chuck 1996 vintage Pre-aligner-Alignment System: MVS overlay <500nm, 3s 1000W illuminato Includes chamber 1997 vintage.
ULTRATECH Titan 4700是一款先進的晶圓步進器,設計用於高容量、高精度的光刻應用。該設備具有多種功能和靈活性,使制造商能夠創建最詳細、分辨率最高的圖像,同時保持無與倫比的吞吐量和成本效益。Titan 4700是一種5軸晶圓步進器,采用ULTRAFETCH技術設計,無論產品復雜程度或體積如何,都能實現更快的吞吐量和最大精度。該系統由全場接觸成像柱、高分辨率層寬場3維運動控制器和高速級組成。ULTRAFETCH技術將掃描和投影過程結合在一起,達到最高精度,即使在高速操作時也是如此。ULTRATECH Titan 4700采用全場平面成像和ULTRAFETCH技術設計,利用精密光學器件在大面積提供平坦、一致、高分辨率的圖像。該設備還提供具有多種選擇和分辨率的串聯光學功能,使制造商能夠專註於小型、詳細的功能或大型區域。泰坦4700具有先進的五軸運動控制機,包括舞臺和標線的獨立控制位置,使制造商在定位時具有很高的靈活性和精度。它還采用了用戶友好的設計和簡單、直觀的操作,共同提供了更高的安全性和可靠性。ULTRATECH Titan 4700融合了高速舞臺和五個自由軸的立體運動控制器。這包括選擇單個和多站點的標線,以及為低失真提供噴射驅動器或精細氣泡控制的階段。Titan 4700還被設計為與最常見的晶圓基板兼容,使用戶能夠輕松地移動到不同的基板上,而無需將工具從一個基板重新校準到另一個基板。此外,資產的維護設計較低,不需要潤滑或調整部件。總體而言,ULTRATECH Titan 4700先進晶圓步進器的設計滿足了光刻應用在吞吐量、準確性和成本效益方面的最高要求。Titan 4700憑借其全場平面成像、ULTRAFETCH技術、高速級和三維運動控制器,為優化光刻生產提供了全面的解決方案。
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