二手 ULTRATECH Titan 4700 #293628670 待售

ULTRATECH Titan 4700晶圓步進器是一種最先進的精密光刻機，設計用於微電子器件的快速制造。它能夠大批量生產扇出晶片、射頻器件、顯示器、基板和其他微結構組件。泰坦4700步進器具有高速、多級、掃描成像設備，能夠精確、均勻地沈積和轉移晶圓表面的光刻膠層。憑借其可重復的精度，ULTRATECH Titan 4700非常適合在12.5和15.2厘米晶圓上批量生產亞微米特性。Titan 4700步進器配備了Nicolette雙光束系統,這是一種雙層雙波長激光源,可同時產生HeNe和KrF光束,從而提高蝕刻性能和薄膜質量控制。它還具有一個鴿子棱鏡分束器和一對寬視場冷凝器透鏡，這使得它能夠方便地成像組件下降到0.25 µm具有卓越的精度。此外,ULTRATECH Titan 4700還提供了非常精確的步進對準,以確保盡可能最精確的生產,以及自適應光學器件,以校正光學單元中的任何像差。Titan 4700步進器利用晶圓級、盒式到盒式的處理機器，方便快速、高效地裝卸晶圓。其先進的真空和氣體處理系統為清潔、高質量的晶圓生產提供了必要的環境。ULTRATECH Titan 4700的用戶還可以將機器配置為自動對齊晶片，以實現卓越的蝕刻重復性。此外，他們還可以對UMARA™工具（通用掩碼和標線對齊）進行編程，該工具非常精確地將掩碼和標線與晶片對齊，以便進行可靠、可重復的處理。最後,Titan 4700具有提高生產效率的功能,如工藝基準標記、雙級階段定位、自動曝光和焦點跟蹤、現場匹配以及可定制的配方加載。這些特性,加上ULTRATECH Titan 4700的大型特性尺寸和無與倫比的精確度,使得這種晶圓步進器非常適合經濟高效、大批量生產微電子元件。