二手 ULTRATECH Titan 4700 #293751572 待售

ULTRATECH Titan 4700是一款高性能的晶圓步進器，專為多圖樣光刻應用而設計。它能夠拍攝不同角度和深度的高分辨率照片，並在包括矽、陶瓷和復合材料在內的各種基板上提供高產圖樣。Titan 4700通過將過程自動化和計量功能與高分辨率成像設備相結合,旨在減少周期時間並簡化操作。成像系統使用先進的高速光學器件和一個纖薄的光掩模來產生高清晰度圖像,線性圖像失真小於0.5%。晶圓步進器還優化了曝光工具的曝光特性，以便在陣列制作過程中提高精度。該單元由強大的高速處理器和數碼攝像機提供動力,可提高準確性和靈活性。快速的處理功能使步進器能夠從較小的光掩碼產生復雜的圖樣。曝光工具有幾種曝光模式，包括最大聚焦的遠心掃描模式和優化的窄角曝光模式，以便在不同基板上進行高度精確的成像。ULTRATECH Titan 4700還包括一臺自動化的精密對準機，以更高的精度提高多步光刻工藝的效率。有了全自動對準工具，機器就能以亞微米精度精確調節掩模位置。這種能力縮短了整個周期的時間,並提高了高產模式的生產效率。資產還具有高級計量功能,包括對齊計量和模式計量,可實現高分辨率性能。對齊計量法允許進行過程中的測量和診斷評估，以確保模式的準確性和質量。模式計量為更高的質量控制提供了額外的測量，如模式輪廓分析、橫截面特征映射和模式可比性。泰坦4700是一種最先進的晶圓步進器，旨在優化光刻工藝，提高吞吐量。其先進的成像模型和復雜的圖樣處理能力可提供高分辨率的成像和在各種基板上的精確圖樣處理。自動化的精確對齊和計量功能可實現更高質量的結果和更好的周期時間性能。憑借其多功能性，ULTRATECH Titan 4700是多步光刻工藝和高產圖樣應用的理想選擇。