二手 ULTRATECH UltraStep 1500 #293671472 待售

ULTRATECH UltraStep 1500
ID: 293671472
Stepper No MVS.
ULTRATECH UltraStep 1500是最先進的高精度晶圓步進器。該設備設計用於半導體光掩模制造、光刻和電路計量。UltraStep 1500具有高重復性和準確性、快速循環時間以及多種功能豐富的檢查和測量功能。ULTRATECH UltraStep 1500是一款全自動晶圓步進器,配有直觀的觸摸屏顯示屏,用戶友好操作。該系統為200 mm和300 mm晶圓提供了可調晶片支架,提供了出色的跳接靈活性。而且,它容納了廣泛的基材,包括厚膜、基材、玻璃和半導體。為了獲得更高的精度和可重復性,UltraStep 1500配備了大直徑、高性能的鏡框和各種先進的光學元件。這包括一個專有的鏡頭設計,它提供了很長的工作距離,增加了可用的曝光面積,同時保持了高分辨率的性能。步進器還采用了高分辨率的鍍鋅掃描儀、快速準確的編碼器單元,以及用於復雜曝光的先進激光自動對焦。ULTRATECH UltraStep 1500采用多用途的舞臺結構設計,便於與各種計量工具集成。這允許自動進行圖像捕獲、邊緣檢測和丟失區域測量。該機還配有模塊化照明設計和精確的光學對準工具,具有高Q可重復性,可重復、可靠成像。UltraStep 1500配備了高精度的舞臺資產,易於與用於晶圓裝卸的機器人處理系統集成。低漂移運動控制器進一步確保準確和可重復的定位,以便在整個生產運行過程中保持公差。總體而言,ULTRATECH UltraStep 1500是一種精密且用戶友好的晶圓步進器,專為在光掩模生產、光刻和計量中的精確應用而設計。其高性能的光學和強大的舞臺模型提供了準確性和可重復性,而其模塊化組件、機器人加載和直觀的用戶界面則確保了快速循環時間和輕松集成到現有系統中。
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