二手 ULTRATECH UltraStep 1500 #293819982 待售
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ULTRATECH UltraStep 1500是為生產集成電路器件、液晶顯示器和其他先進半導體元件而設計的光刻設備。這種行業標準的生產工具使用先進的光學、集成的運動控制系統和自動化的測試設備來創建精確的晶圓步進模式。UltraStep 1500的最大掃描尺寸為400 mm x 400 mm,頻率範圍為0.75至20 kHz,能夠為10nm、7nm和5nm應用生產晶片。ULTRATECH UltraStep 1500利用連續波激光掃描技術，以極好的精度和均勻性，創造並重復完美的圓形形狀、線條和其他形狀。激光光源使用一組小型復制掩碼進行基線校準,確保每次掃描都能獲得準確的結果。該系統還具有一個先進的圖像識別單元，可以識別不同的特征大小和形狀，並且可以編程來相應地調整掃描模式。UltraStep 1500配備了先進的運動控制系統，以提供最佳的掃描速度。它允許高速掃描應用程序選擇高達500 m/s的掃描速度。該機還允許可變激光功率，能夠精確控制光束直徑、波長和瞳孔大小。可變激光功率與可變運動控制工具耦合，創建動態掃描速度和功率分布。為了確保生產過程的準確性和檢測缺陷,ULTRATECH UltraStep 1500配備了集成的自動測試設備。這種自動化的測試設備允許進行過程中的監控、性能驗證和缺陷檢測。此外,還可以對資產進行進一步編程,以便在發現任何缺陷時觸發警報或采取糾正措施。總體而言,UltraStep 1500旨在提供高精度的最高性能,使其成為集成電路和設備制造的理想步進器。該車型先進的特點、精確的掃描機械、過程中的自動測試設備，確保了這款工具在高端集成電路等尖端設備的生產中達到質量和可靠性的行業標準。
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