二手 ULTRATECH UltraStep 1500 #293820270 待售

ULTRATECH UltraStep 1500是一種功能強大且全自動的晶圓步進器,旨在提高生產效率和速度,同時降低總成本和時間。其獨特的設計和最先進的技術為用戶提供了更大的靈活性和控制力。UltraStep 1500最多可處理5個盒式磁帶,容量可達8英寸晶圓。它具有直觀的觸摸屏,可輕松配置、編程和監控步進器。設備還包括一個互鎖的安全功能，使用戶在操作時遠離高壓區域。ULTRATECH UltraStep 1500配備了高性能XY掃描系統，頻率為300 Hz，XY分辨率為0.25 µm，曝光時間高達5.5 ms。它還包括一個集成的數字成像單元，每晶圓最多可捕獲8個圖像。此外，它還支持各種晶片載流子，包括單個晶片、大型次光刻和標線對準。這臺機器具有極高的準確性和可重復性,世界一流的曝光均勻性± 5%。晶圓吞吐量高達200晶圓/小時，與有機和無機抗性材料兼容。UltraStep 1500提供了多種曝光工具,包括各種曝光模式,包括並行和掃描對齊、蒙版編輯,以及功能強大的原始曝光模式序列選項。晶圓步進器是為優越的硬件和軟件機器可擴展性而設計的，為開發過程或組件技術戰略和應用提供了一個創新的平臺。為了幫助降低運營成本,ULTRATECH UltraStep 1500具有先進的能效等級、較低的維護要求和最小的空間占用空間。此外，它還包括自動自我診斷系統，不斷監控和調整芯片制造工具的性能。診斷資產與支持遠程監視和控制機器的監視和控制模型協同工作。總體而言,UltraStep 1500是一款功能強大、準確且完全自動化的晶片步進器,可簡化芯片制造並降低成本和時間。它非常適合大批量應用,為芯片制造生產提供了完美的解決方案。