二手 ULTRATECH UltraStep 1500 #293820275 待售
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ULTRATECH UltraStep 1500是一種先進的晶圓步進器,設計用於處理各種半導體基板。與傳統步進器相比,此映射步進器在曝光時間減少10倍時提供了更高的聚焦精度。UltraStep 1500能夠處理不同厚度和大小的晶圓基板。ULTRATECH UltraStep 1500具有高分辨率、幾何精度和吞吐量,非常適合小模具半導體應用。利用1X到45X的大放大範圍和靜態激光光束精細繪制晶圓表面,從而形成高分辨率的地形圖。步進器在整個晶片上的對準精度為1.5微米(0.001mm),使其成為小模具應用的理想選擇。UltraStep 1500具有符合人體工程學的設計,易於訪問和調節。這臺機器通過其雙插槽配置和在一個機器周期內在兩個不同的基板之間切換的能力,為晶圓生產提供了增強的靈活性。在快速周轉和效率是關鍵的生產環境中,這是一個特別有用的功能。ULTRATECH UltraStep 1500配備自動對焦設備和用於自動晶圓映射的全局反射器。它還具有多位置系統,可實現準確一致的對齊和最小化錯誤。該機器還提供準確的重復步驟功能以及自動缺陷檢查和測量功能。UltraStep 1500采用耐用的多插槽單元,專門設計用於在處理過程中保護易碎晶片。即使在最苛刻的生產環境中,此步進器也能提供出色的可靠性和性能。這是由於它的冷卻機器,這有助於確保均勻晶圓溫度控制和防止汙染在晶圓映射。總體而言,ULTRATECH UltraStep 1500是一款高精度、快速且可靠的晶圓步進器,非常適合各種小模具半導體和消費電子應用。它提供了最高級別的聚焦精度,以確保最大產量,而不會犧牲吞吐量或可重復性。
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