二手 ULTRATECH UltraStep 1500 #9266062 待售

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ULTRATECH UltraStep 1500
已售出
ID: 9266062
晶圓大小: 6"
優質的: 1993
Stepper, 6" Fine line resolution: 1.0 µm Depth of focus: 3.0 µm at 1.0 µm lines Maximum square: 18 mm x 18 mm Maximum aspect: 39 mm x 1.4 mm Maximum area: 34.2 mm x 13.6 mm Reticle size: 3" x 5" x 0.090" Alignment: WAS Computer: HP 362 With hard disk No MVS Wafer handling: Cassette to cassette auto loader SEMI Standard 1993 vintage.
ULTRATECH UltraStep 1500是一種晶圓步進器,可在各種應用程序中提供高水平的性能。該設備旨在在包括半導體晶片在內的各種材料表面上精確有效地繪制所需的光刻工藝圖樣。它具有簡單的用戶友好界面,允許快速、輕松地進行設置,並使其成為各種用戶的絕佳選擇。UltraStep 1500采用高分辨率石英投影透鏡和高度自適應的可編程級來提高精度和可重復性。它擁有先進的光學系統,可產生清晰、精確的圖像,且像差和圖像變差最小。這個單元還有一個集成的激光機器,用於晶圓和掩模的對準。ULTRATECH UltraStep 1500具有多種高級功能,使其成為陣列化過程的理想選擇,並增加了詳細程度和復雜性。此工具利用先進的X/Y掃描技術來實現各種特征尺寸的全場曝光精度。它還具有高吞吐量設計,能夠快速高效地對較大區域進行陣列設計。UltraStep 1500還集成了多種集成控制功能。此資產具有完全可編程的曝光設置,因此可以快速輕松地存儲精確的參數並將其應用於不同的項目。它還支持多種曝光類型,包括單層和多層曝光、可變功率/時間曝光、斑點曝光和可變線寬曝光。ULTRATECH UltraStep 1500由於其高精度和可重復性,是精密陣列處理的理想選擇。它旨在滿足各種陣列需求,其集成的控制功能和用戶友好的界面使其成為晶圓級封裝操作的傑出選擇。該模型是生產和實驗室應用的絕佳選擇,為光刻工藝的研發提供了絕佳平臺。
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