二手 ULTRATECH UltraStep 1500 #9296388 待售

ID: 9296388
晶圓大小: 6"
Stepper, 6", parts machine.
ULTRATECH UltraStep 1500是一種高性能晶圓步進器,旨在為各種半導體制造工藝提供精確的位置對準。這種步進器具有先進的光學系統,配備獨立的軸向對準能力,為目標晶圓材料提供高分辨率、精確的定位。這種步進器的設計具有穩定性和低熱漂移,精密的二維晶片對準精度高達0.5 µm。它還與各種應用需求兼容,從光刻、晶圓檢測到基材加工。UltraStep 1500包含自動晶圓識別和階段尋址系統。這樣可以確保在工藝的每個步驟之前準確定位每個晶片。步進器采用鋁合金構造,經過陽極氧化,在保持輕質的同時提供最大強度和耐用性。它還具有耐用的不銹鋼飾面,可防止腐蝕和磨損。ULTRATECH UltraStep 1500還集成了一個全面的安全系統,包括內置的安全功能,如緊急停止按鈕、安全的工作區外殼、激光保護設備和乳暈面板。這樣可以確保用戶在操作過程中免受與步進器交互的影響。UltraStep 1500采用多功能伺服電機,可提供高扭矩、高精度和高速性能。該電動機的設計滿足了廣泛的半導體制造需要。它還能夠加工多種基材,包括金、銅、金剛石、矽、鋁。此步進器還提供高級編程功能。這使得以精確的精確度來控制塗層、成像、蝕刻和沈積等過程變得容易。它還與各種晶圓管理系統兼容,允許進行批處理、錯誤檢查和自動清理功能。總體而言,ULTRATECH UltraStep 1500是一種高度可靠的晶圓步進器,它提供高級功能和直觀的控制,以滿足半導體制造商的制造需求。它為各種制造工藝提供了更高的穩定性、低熱漂移和精確的二維晶圓對準。這種步進器是各種基板精密加工的理想選擇,是半導體應用的絕佳選擇。
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