二手 ULTRATECH Ultrastep 990 #9237976 待售
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ULTRATECH Ultrastep 990是為亞微米光刻設計的先進、高精度的晶圓步進器,提供出色的臨界尺寸(CD)控制和可重復性。該設備利用先進的硬件和軟件實現高吞吐量,同時保持極好的精度。Ultrastep 990的核心是先進的光學成像子系統。光學系統為每次曝光提供高分辨率的圖像采集和精確的晶圓配準。精確對準精度為0.5 μ m (1 μ m特征大小的十分之一)。該設備由直觀的圖形用戶界面(GUI)提供支持,旨在實現簡單高效的操作。GUI允許完全控制機器參數,例如速度和精度以及作業執行。此外,它還提供全面的報告功能,使用戶能夠監控晶圓吞吐量、檢測和糾正錯誤,並確保最佳的過程控制。ULTRATECH Ultrastep 990利用專有的超高速光源,以最小的開銷實現快速晶圓處理。其寬孔徑和雙激光傳感器提供了出色的檢測能力,即使有密集的模式。此外,其先進的掃描處理器和晶片級在暴露的晶片表面上提供快速和準確的圖樣。Ultrastep 990設計用於可靠高效的操作,即使在要求最苛刻的環境中也是如此。其堅固的真空夾緊工具確保了晶片的穩定裝卸,其剛性框架結構和密封的光櫃最大程度地減少了空氣中的汙染。此外,其先進的隔振資產可以防止環境噪聲的幹擾。ULTRATECH Ultrastep 990是最佳光刻吞吐量的絕佳選擇。其強大的硬件和軟件體系結構,加上出色的成像和配準能力,使其成為精密亞微米光刻的完美模型。憑借卓越的性能和可靠性,Ultrastep 990能夠滿足最苛刻的光刻需求。
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