二手 ULTRATECH Unity AP200 #9306126 待售

ULTRATECH Unity AP200是一個晶圓步進技術平臺，專為頂級光刻作業而設計。該AP200是一種高速重復30-GHz處理設備,具有卓越的成像精度、靈活的晶片處理能力和先進的工藝控制技術。其先進的光學系統采用可調遠心透鏡，最大限度地減少晶圓失真，確保強大的成像場。該設備可以以高達3秒/晶圓步長的工藝速度處理超過50微米的音高。AP 200的自動化操作是完全可擴展的,並且在處理不同的晶圓尺寸、設備和基材材料時提供了最大的靈活性。機器有很大的工作區域，可以定制以容納5英寸和8英寸晶圓。它完全配備了各種場平整和多模執行功能，以及自動圖像優化。該工具還具有全面的過程控制功能,包括光學對準、基準對準和成像性能監控。該AP200能夠捕獲缺陷信號並生成具有可配置曝光參數的特殊模式。它還提供了廣泛的日誌跟蹤和分析過程歷史的工具。該AP200的設計符合最高性能標準。它提供了非凡的成像精度、出色的工藝可靠性和多重冗余特性。其自動化的對齊資產使得維護一致的處理參數和防止錯位變得更加容易。此外，其巨大的視野大大提高了成像能力，促進了明確的成像領域。統一AP200是任何光刻需要的完美解決方案，從極端分辨率微電路到大規模集成系統。它提供了無與倫比的速度和精度，其先進的工藝控制技術使其更容易獲得卓越的質量效果。該模型專為最大吞吐量、魯棒性和易用性而設計,幾乎可以處理任何晶圓尺寸。無論是尋求極高的精度還是增加的產量，AP200都是完美的選擇。